美國(guó)BROOKS流量計(jì)-超高純度壓力傳感器和變送器

挑戰(zhàn)：改善超高純度工藝中的氣體管理
許多晶圓廠的大容量氣體源和機(jī)柜與他們提供的工具相距很遠(yuǎn)。24/7 全天候準(zhǔn)確和受控地輸送這些氣體對(duì)于工具的利用率和正常運(yùn)行時(shí)間至關(guān)重要——因此實(shí)施壓力傳感器和變送器來(lái)測(cè)量、跟蹤和傳達(dá)壓力水平，并在壓力超出設(shè)定點(diǎn)時(shí)生成警報(bào)同樣重要。

解決方案：SolidSense II® 壓力傳感器
Brooks SolidSense II® 壓力傳感器設(shè)計(jì)用于處理當(dāng)今最尖端的半導(dǎo)體工藝和節(jié)點(diǎn)中使用的復(fù)雜且有時(shí)苛刻的氣體。它們結(jié)合了無(wú)焊接、耐腐蝕的材料，精度在滿(mǎn)量程的 0.25% 以?xún)?nèi)。通過(guò)使用由優(yōu)質(zhì)不銹鋼加工而成的獨(dú)特的一體式傳感器，SolidSense II 傳感器無(wú)論被測(cè)量的氣體如何，都表現(xiàn)出出色的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

產(chǎn)品

    
美國(guó)BROOKS流量計(jì)-SolidSense II® 系列

產(chǎn)品類(lèi)別    
壓力傳感器

微分器    超高純度
壓力范圍    -15 磅/平方英寸 - 3000 磅/平方英寸
建筑材料    外殼：不銹鋼、聚合物塑料
模擬通信    0-5 Vdc、0-10 Vdc、0.2-5.2 Vdc、2-10 Vdc、4-20 mA

認(rèn)證/批準(zhǔn)    
EMC：符合歐盟指令 2004/108/EC

FM 認(rèn)證：非易燃，可用于 I 類(lèi)、II 類(lèi) A、B、C 和 D 組危險(xiǎn)應(yīng)用