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HORIBA質量流量計
湖南代理日本HORIBA流量計廠家
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  • 產品分類:HORIBA質量流量計
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湖南代理日本HORIBA流量計廠家

HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造,使這些單元能夠在超純的氣體供應系統(tǒng)里進行理想的純凈的壓力控制。 HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的,以及擁有世界大的市場份額,可使用DeviceNet控制接口,符合官方要求的RoHS處理HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造,使這些單元能夠在超純的氣體供應系統(tǒng)里進行理想的純凈的壓力控制。


EC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng),任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鐘之內完成在設定不同流量時,PID數據將進行自動的調整,即使在氣體種類和流量范圍變更后,PID數據也能夠自動優(yōu)化,實現高速響應。 復合氣體、復合流量方案 HORIBA STEC 新產品讓客戶輕松地在現場更改氣體種類和流量成為現實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來,就可以很大程度上減少客戶備品的數量,同時節(jié)省了時間和成本。












SEC/N122JM氣體質量流量控制器概要


·?適用于廣泛范圍的流量控制:在同一系列中,適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制·?適用于廣泛的用途:在普通產業(yè)市場中,擁有眾多的銷售業(yè)績,引以為豪。·?低成本:產品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢的型號:SEC-E40MK3/E50MK3如今半導體成為工業(yè)進化中的核心部件。HORIBA聚焦于半導體的微觀世界。HORIBA各個領域的專家學者們致力于不同行業(yè)的工程項目研究,諸如評估和分析、超純水的純度、氣液體的成分,更廣泛地說即和。伴隨HORIBA明確針對全工藝流程的目標,我們已成功開發(fā)了一系列的分析設備,液體控制和監(jiān)測系統(tǒng)已適應半導體制程中每一步工藝所需的嚴格質量控制需求。在制程的整個階段,從材料分析到檢查,HORIBA產品能幫助客戶在高精尖端的電子器件制程達到能。



日本HORIBA流量計-SEC/Z712-SEC/Z722熱感傳感器壓力鈍感質量流量計

日本HORIBA? SEC-Z700系列熱感傳感器,壓力鈍感質量流量計

型號;

?SEC-Z712MGX? SEC-714MGX? SEC-Z722MGX? SEC-Z724MGX? SEC-Z732MGX? SEC-Z734MGX? SEC-Z742MGX? SEC-Z743MGX

概要

SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實現穩(wěn)定流量控制的氣體質量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統(tǒng)的成本,尺寸及復雜度。

特征

多氣體/多量程解決方案客戶可更改氣體的種類與滿量程

可變PID功能實現整個范圍內的高速響應(1秒內)

簡化氣路線無需額外增加調節(jié)器,傳感器,過濾器

穩(wěn)定控制氣體流量,不受上游端及下游端的壓力波動影響

搭載進氣壓傳感器

多種展示

1% S.P.的精度

潔凈設計 - 金屬隔板,采用不銹鋼SUS-316L,拋光面表面處理(標準)

輕巧的尺寸

50SLM內相同的配件尺寸

信號兼容

模擬式/RS485 數字式 , DeviceNet?模式

數字信號控制

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。

質量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng),對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗收標準。

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