金屬密封壓力控制器產(chǎn)品介紹
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PC100 系列壓力控制器和儀表結(jié)合了許多高性能技術(shù)特性，為要求苛刻的半導(dǎo)體、氣相沉積和其他超精密制造工藝提供新水平的壓力控制精度和可靠性。
PC100 系列以久經(jīng)考驗的 Brooks GF100 質(zhì)量流量控制器技術(shù)為基礎(chǔ)，具有高純度全金屬流路、專為消除傳感器漂移而設(shè)計的增強型傳感器技術(shù)，以及用戶界面和設(shè)備診斷功能，使操作設(shè)備變得更加容易評估和故障排除，從而減少服務(wù)中斷并減少停機時間。
特征
響應(yīng)時間：<1 秒
滿量程流量高達 10 slm
傳感器壓力范圍：1000 Torr FS
全金屬密封流路：5μ 英寸 Ra 表面光潔度
帶有嵌入式流量計的 PC125 包括一個高度耐腐蝕的 Hastelloy? C-22 流量傳感器與高速 ARM 處理器相結(jié)合
快速作用無隔膜閥組件
高可見度 LCD 顯示屏，帶有易于操作的按鈕，用于本地顯示流量、溫度和網(wǎng)絡(luò)地址
獨立診斷/服務(wù)端口
DeviceNet? 協(xié)議
好處
高性能組件可實現(xiàn)快速響應(yīng)和設(shè)置時間，以改善壓力控制
減少分流的氣體消耗和相關(guān)的減排成本
全金屬、耐腐蝕、符合 SEMI F20 標準的濕式流路，具有整體減小的表面積和未掃過的體積，可確保在吹掃步驟期間更快地干燥
長期熱或壓力傳感器設(shè)備穩(wěn)定性最大化產(chǎn)量和吞吐量
用戶可編程啟動功能，適用于需要緩慢上升壓力控制的過程
應(yīng)用
半導(dǎo)體先進蝕刻工具
薄膜化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）
物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)