青海代理日本HORIBA流量計質量

·?適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制·?適用于廣泛的用途：在普通產業(yè)市場中，擁有眾多的銷售業(yè)績，引以為豪?！?低成本：產品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢的型號：SEC-E40MK3/E50MK3如今半導體成為工業(yè)進化中的核心部件。HORIBA聚焦于半導體的微觀世界。HORIBA各個領域的專家學者們致力于不同行業(yè)的工程項目研究，諸如評估和分析、超純水的純度、氣液體的成分，更廣泛地說即和。伴隨HORIBA明確針對全工藝流程的目標，我們已成功開發(fā)了一系列的分析設備，液體控制和監(jiān)測系統(tǒng)已適應半導體制程中每一步工藝所需的嚴格質量控制需求。在制程的整個階段，從材料分析到檢查，HORIBA產品能幫助客戶在高精尖端的電子器件制程達到能。

SEC- (質量流量控制器)

E40/E40MK3

E50/E50MK3

SEF- (質量流量計)

E40

E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門型號

非通電時?關閉

標準流量量程 (N2相應F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2? F.S.

流量測量范圍
(適于SEF系列)

0? F.S.

響應速度

1秒以內(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐?壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環(huán)境溫度

5?50℃(精度的確保：15?35℃)

流量設定信號

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2? F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(負荷電阻2kΩ)

驅動電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標準接頭*2

1/4SWL 類型

EC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng)，任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鐘之內完成在設定不同流量時，PID數(shù)據(jù)將進行自動的調整，即使在氣體種類和流量范圍變更后，PID數(shù)據(jù)也能夠自動優(yōu)化，實現(xiàn)高速響應。 復合氣體、復合流量方案 HORIBA STEC 新產品讓客戶輕松地在現(xiàn)場更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來，就可以很大程度上減少客戶備品的數(shù)量，同時節(jié)省了時間和成本。

適用于多種不同的產業(yè)應用?？蓪崿F(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數(shù)字式/模擬式， CC-Link?, PROFIBUS?, 以及 EtherCAT?），高精度（± 1.0% S.P. *1），響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶成本。 包括SEC-N177R。質量流量計是半導體制造設備中關鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。

質量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。

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Wuxi Feisca Precision Technology Co., Ltd  specializes in the sales and service of mass flow control systems in major scientific research institutions. Is a professional supplier of mass, flow, pressure, vacuum, temperature measurement and control systems.

The Quality Flow Control Division specializes in the sales and service of world-renowned MFCs. Well-known brands include: Brooks, MKS, HORIBA, UNIT, Tylan, AE, STEC, Alicat, etc., with complete varieties and specifications. At the same time, the brands that distribute vacuum and coating equipment include: INFICON (American mks flowmeter, American BROOKS flowmeter, American MKS vacuum gauge, German Pfeiffer vacuum gauge, Japanese HORIBA flowmeter), COMDEL, AE, HUETTINGER (DC power supply, RF power supply, intermediate frequency power supply), VARIAN, PFEIFFER vacuum pump, etc.; Gas pressure and flow measurement and control, RF/DC/microwave power generators and measuring tools, fluoride ion/ozone reactive gas generators, vacuum products, gas analyzers, electrostatic control and information and control technology products. Our well-known gas flow calibration system can accurately clean and calibrate any brand of MFC. The appearance is clean as new, the performance is reliable, and the original factory acceptance standard.