美國MKS流量控制器
GM50A質(zhì)量流量控制器
GM50A是一種金屬密封的質(zhì)量流量控制器，可在多種應用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。
對于當今市場上的質(zhì)量流量控制器，GM50A可作為直接替代的產(chǎn)品，標準的3英寸底座使GM50A能夠直接進行安裝而無需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1%。
技術參數(shù)：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。
控制量程：2% to 的全量程。
測量精度：全量程的1%
靈敏度：全量程的0.1%
熱機時間：小于2Min.
響應速度：小于2Sec.
輸入電壓：±15VDC@100ma
輸出電壓：0-5VDC
連接器：模擬：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
數(shù)字：RS485或Device net或Profibus
法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等
材質(zhì)：316不銹鋼。