美國(guó)BROOKS流量計(jì)-寬范圍真空計(jì)
單規(guī)解決方案，可提高從大氣到高真空的精度。
VersaTorr 通過(guò)將微皮拉尼/壓電傳感器設(shè)計(jì)的進(jìn)步與主動(dòng)溫度補(bǔ)償和先進(jìn)的數(shù)字信號(hào)處理相結(jié)合，擴(kuò)展了基于 MEMS 的真空計(jì)測(cè)量的性能，從而將精度和工作范圍大大提高了 3 個(gè)十倍頻程。
主要應(yīng)用
負(fù)載鎖
轉(zhuǎn)移室
前線
真空粗加工線
薄膜加工
產(chǎn)品
產(chǎn)品類(lèi)別 雙傳感器：MEMS Pirani 和壓電隔膜 三傳感器：MEMS 皮拉尼、電容和壓電隔膜
微分器
精度更高，工作范圍寬，可實(shí)現(xiàn)可靠的抽空和基礎(chǔ)壓力測(cè)量
電容和壓電隔膜傳感器為過(guò)程控制提供擴(kuò)展的高精度直接真空測(cè)量
壓力范圍
7.5x10 -7托至 1000 托
7.5x10 -7托至 1000 托
準(zhǔn)確性
7.5x10 -5至 7.49x10 -3托：±5%
7.5x10 -3至 7.49 托：±5%
7.50 至 7.49 托：±1%
75 托至 1000 托：≤±0.5%
7.5x10 -5至 7.49x10 -3托：±5%
7.5x10 -3至 7.49 托：±0.5%
7.50 至 7.49 托：±0.5%
75 托至 1000 托：≤±0.5%
溫度 環(huán)境溫度 - 50 o C 環(huán)境溫度 - 50 o C
模擬通信
0.5-9.5 Vdc（每十倍頻 1V）
0.5-9.5 Vdc（每十倍頻 1V）
數(shù)字通信
RS-232
RS-485
RS-232
RS-485